真空設備用油在密封條件下保質期可以達到三年；  

油品應存放陰涼干燥處；  

油桶打開使用后，剩余的油應蓋好密封蓋，同時盡快用完剩余的部分，切勿混入其他粉末和液體雜質；  

環境工具應保持干凈，若用溶劑清洗后應烘干使用； 

根據真空泵的結構精度和使用環境，應選用相應精度品質的油品。  

換油最好在油溫升高后進行。對泵嚴禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平時也要注意保護進氣口，檢查濾網，防止灰塵、雜質進入泵內，弄污泵油，損壞真空室。  

如果擴散泵太臟或者油變質，都將延長達到正常工作真空度的時間，極限真空度也會惡化。這時必須清洗和換油，其步驟大致如下：

(1)拆下擴散泵，取出噴咀系統，盡可能將它拆成單個零件。

(2)倒出被氧化或劣化了的油(呈褐色)。

(3)用石油醚或四氯化碳清洗噴咀系統各零件及擴散泵內壁。若油垢清洗不下來可用金屬擦膏，仔細擦凈(注意勿損壞金屬噴口)。泵上方的水冷擋板也應洗凈。

(4)裝入干凈的擴散泵油。注意油量一定要合適(根據說明書)，太多或太少都會影咆抽氣速率。

(5)重新把擴散泵裝配起來。

泵出氣口有噴油現象： 油加的過多，減少油的加入量。  進氣口長時間抽大氣，應加以避免。  

泵出氣口有霧現象：檢查進氣口及其他部分是否有漏氣 。  

真空度偏低： 泵腔內及油中是否混入其他輕質液體，新換油后應適當運轉一段時間；檢查泵各密封部分是否有漏氣現象；校對好檢測儀表。  

擴散泵 、油增壓泵換油注意事項：

①選用品質好的油品;

②換油時應全部倒出舊油;

③用溶劑汽油或專用清洗劑清洗泵內全部零件，并用丙酮或乙謎擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹風機吹干;

④按原來部位安裝好泵內外零件，噴嘴應在泵腔中部

⑤操作者應手戴白紗脫脂手套裝配，按要求量倒入擴散泵油或增壓泵油。

擴散泵使用中產生的問題及排除方法： 

1）真空度偏低：

檢查前級真空;

檢查冷卻水是否暢通，水溫是否偏高;

冷卻水管有沒有部分堵塞;

電爐絲功率偏大或偏小;

供電電壓是否偏低;

各噴油嘴裝配不正確;

規管測量不準確;

儀表或導線不正常;

真空系統是否漏氣;

工作室經長期使用殘留鍍層是否太厚;

2）由操作不當引起的油品很快氧化，即變紅或變黑：

檢查工作是是否忘記打開冷水;

真空系統存在較嚴重漏氣;

擴散泵在工作時大氣進入了擴散泵內;

工作室內有可揮發氣體或灰塵進入泵腔內。